SJT 31091-1994 晶片内圆切片机完好要求和检查评定方法
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ID： |
E2F37A429000492CB90200FE00EDDF37 |
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文件大小(MB)： |
0.31 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,晶片内圆切片机完好要求,和检查评定方法,SJ/T 31091-94,1主题内容与适用方法,本标准规定了切割晶片的内园切片机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于TS23内园切片机。其它型号的内园切片机亦可参照执行,2术语,2.1 单片切割:在自动切片的情况下,工作和垫材（石墨条）完全切断,2.2 梳形切割:在自动切片的情况下,仅エ件切断,垫材（石墨条）不切断,3完好要求,3.1 主要技术指标,3-11主轴工作转速为1700r/mino,3-1-2具有单片切割和梳形切割的功能,切割片精度满足工艺要求,3.1.3刀片径向跳动不超过10曲m,3.1- 4保护开关应工作可靠并满足下列要求：,a-压缩空气压カ低于0. 46Mpa时,压缩空气保护开关应能立即关断;,b.当承片台吸附真空度低于0. 04MPa时,真空保护开关应立即关断;,c.当刀片冷却液压カ低于0. lOMPa时,冷却液保护开关应立即关断,3.2 操作系统,3- 2-1切片机的各操作、各控制开关、按钮应启动灵活,定位可靠,标志齐全,3. 2.2切片机手动及自动控制应正常,刹车块及限位开关应灵敏可靠,3-3机械传动系统,3- 3.1切片机应运转平稳,无冲击、无振动,主轴传动皮带应有足够的拉カ,3. 3-2工作台X、Y方向及倾斜角度调整应灵活、可靠,定位准确,3-3-3机械手的真空限位开关能准时打开、机械手真空吸盘吸片牢固，移动灵活,3-4冷却系统,3.4 .1冷却系统各装置完整无损,管路畅通,3.4 -2冷却液流量阀灵活可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,1 —,SJ/T 31091-94,3.5 压缩空气系统,3. 5.1压缩空气管道畅通,压カ表的压カ在0. 6-1. OMPa范围,3. 5-2空气过滤器和F50型超净过滤器应无损坏,滤芯清洁通畅,3.5.3刀盘内外要保持清洁,防止超量不平衡,3.6液压系统,3. 6.1液压系统各元件工作可靠,液压泵性能良好,工作正常,压カ阀和减压阀调节灵敏,3. 6. 2油箱中的油位正常油质符合要求;压力表指示在5MPa左右,3.6 -3污染指示器的红梢钉应在正常位置,管路过滤器应清洁、无损坏,3.7 微机控制系统,3 . 7.1各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、功能可靠;控制装置各组成部分保持完整,功能齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,3 .7.2显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,3. 7-3输入/输出程序正确无误,3. 7.4打印机、穿孔机与主机接口良、好,工作正常,3. 7. 5装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,3. 7. 6所有裸露导体件（包括外壳）,必须与保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和,整机外壳之间的电阻不得大于0.1,3. 7.7选择单切或梳切的功能程序正常、可靠,3.8附件,3.8.1 切片机附件千分表及表架、刀片跟踪仪等保管良好,无锈蚀、无损伤,有有效期校验合,格证,3. 8.2刀片跟踪仪指示灵敏,准确无误,3.9 安全防护,3. 9.1各安全防护装置齐全、可靠,各系统连接安全,确保设备运行正常,3. 9.2收集箱的排气孔无堵塞,各过滤器的过滤网无损坏,3. 9.3当各路系统故障时,自动停机装置准确、可靠,3. 9.4刹车按钮灵活,刹车时间小于30s,3. 9.5接地要可靠,3.10 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,4检查、评定方法,4.1 检查方法,4.1- 1主轴转速:,用转速测试仪检查设备主轴转速,应测试3次记录数据,取平均值为主轴实际转速,4.1.2I切割片エ艺质量:,按动功能程序选择开关,检査单片切割和梳形切割控制是否正常,观察被切割件是否满足产品加工质量要求,应无缺损、无裂缝、刀痕浅。用千分尺測量切割,晶片上的五个点（中心点及周围四个点）的厚度,记录数据,取最大值与最小值之差为晶片总厚,度变化,与工艺要求相对照,—— 2 -,SJ/T 31091-94,4.1 -3刀片径向跳动:,将装有滚轮的千分表磁座放在台座上,检査刀片内径径向跳动情况,从刀片跟踪仪的记录曲线上检査刀片摆动情况,应符合本设备エ艺要求0,4.1.4对各系统完好要求,在设备现场,采用主观法检査,4.2 评定方法,4- 2-1 完好要求所列内容中,3.1. 2,3.1, 3,3.1.4,3. 2.1~3. 2. 2,3. 7.1,3. 7. 7,3. 8. 2,3. 9.1,.3. 9.5为主要项目,其余为次要项目,4-2-2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,4.2- 3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由电子工业部第!3所组织起草,本标准主要起草人;李蔚,- 3 -……
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